氯氣微量水分析儀的作用主要是用于監測和控制氯氣在工業生產過程中的水分含量，以確保產品質量和生產安全。其分析原理是根據“法拉第點解定律”，即電解電量和電解的樣品中水分含量成正比。通過測定液氯全氣化后被電解水分所消耗的電量，即可確定液氯中水分含量。氯氣微量水分析儀的分析方法主要為五氧化二磷傳感器法。
五氧化二磷傳感器利用電解水分子為氫氣與氧氣原理，此傳感器由一個玻璃材質的圓柱和兩根并行的電極組成，根據具體應用來選擇電極材質(通常由鉑或銠金屬絲制成)，并在兩根電極之間涂有很薄的一層磷酸H3PO4膜層，在兩電極之間出現的電解電流，使酸中的水分分解為H2和O2，此過程的最終產物是五氧化二磷，P2O5是高吸濕性物質，因此從樣氣中吸收水分，通過連續的電解過程，在樣氣的水分含量與電解后的水分之間建立平衡，電解電流與樣氣中水分含量成比例，信號經過儀器內部信號放大器處理，然后顯示數據并讀出。
此方法適合分析Xe、Ar、Kr、He、D2、F2、N2、H2、O2、O3、HBr、PH3、SF6、Freon、C2H2、CO2、CH4、Natural gas，尤其適合高純酸氣如Cl2、HCl、SO2、H2S 等氣體微量水分測量（極少數會同磷酸發生化學反應的氣體除外）。
