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微量水分析儀的產品特點

更新時間:2015-07-01 點擊次數:1804
    目前多晶硅生產技術在國內主要是以改良西門子法—閉環式三氯氫硅氫還原法是用氯氣和氫氣合成氯化氫為主, 氯化氫和工業硅粉在一定的溫度下合成三氯氫硅, 然后對三氯氫硅進行分離精餾提純, 提純后的三氯氫硅在氫還原爐內進行CVD 反應生產高純多晶硅。然而,游離氧和水分對合成反應極為有害,因為Si-O鍵比Si-Cl 鍵更為穩定, 反應產物極易發生氧化和水解,使SiHCl3的產率降低,水解生成的硅膠會堵塞管道,使操作困難,水解產生的鹽酸對設備有強烈的腐蝕作用。游離氧或水分還能在硅表面逐漸形成致密的氧化膜,影響正常反應的進行,同時多晶硅生產過程存在大量Cl2、HCl 等腐蝕性氣體, 氣體中含有的水分超標時就會形成鹽酸等腐蝕性物質。為了防止水含量超標腐蝕生產設備,確保設備長期可靠地運行, 必須對某些過程氣中水含量進行實時監測。多晶硅生產企業要針對防腐的需要, 實時檢測氫中微量水、氯中微量水、氯化氫總管中微量水等,一旦檢測到水含量超標, 微量水分析儀將發出報警信號,提醒操作人員檢查生產運行情況,為此,必須對生產過程中的微量氧和微量水實時監控。
    微量水分析儀具有*的可靠性和測量重復性。新一代傳感器在電極和P2O5涂層工藝方面的進展,使之在強腐蝕性氣體中的應用成為可能。微量水分析儀產品具有三十年的歷史,積累了豐富的生產和現場應用經驗。本產品在世界各地占有較大的*?,F以成功地應用在空分、煉油、石油化工等領域,使用效果受到好評。
    微量水分析儀在下列氣體中得到廣泛應用,氮、氫、氧、臭氧、氦、氬、氙、乙炔、二氧化碳、氯、甲烷、氟、氟化氫、二氧化硫、硫化氫、天然氣和許多其它氣體。
    儀器特點:
    1.安裝方便:儀器可以放置在桌面上,可以便攜,可以安裝在墻壁上, 也可以安裝在19#儀表機架上。
    2.測量范圍寬:從幾個PPm到5000PPm均可測量。有液晶顯示PPm數值, 也可輸出4-20mA模擬量。
    3.適應氣體廣:除了與磷酸起反應的物質、氨氣中的水份外,其他氣體 中的微量水均可測量。zui典型的應用范圍是:惰性氣體、碳氫化合物、腐蝕性氣體,如氯、氯化氫、二氧化硫等。
    4.操作簡單、維護量非常小:儀器不用定期標定,直接測量即可。
    5.傳感器可以再生,因此儀器壽命長。當電極被污染之后,不用再買電 極,操作人員可以按規定要求對電極進行再生,方法非常簡便,效果與原電極*一樣。而且,這種再生功能可用多次,對電極無損害。一組電極可用8年以上。
    6.TMA-202型微量水分儀可以在防爆區工作。探頭與放大器之間距離可 達300米,若配置電纜,zui大距離可達1000米。

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